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氦气压缩机的应用(yòng)
发布时间:2024-01-17
1.主要应用(yòng)于
半导體(tǐ)
,充当前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入真空系统的保护气。在半导體(tǐ)加工过程中发生的化學(xué)反应通常是基于气體(tǐ)或液體(tǐ)的,因此在硅周围使用(yòng)惰性气體(tǐ)可(kě)以防止发生不必要的反应。而氦气不会与其他(tā)物(wù)质发生反应,化學(xué)性质极不活泼,因為(wèi)它的这一“惰性”性质,让它成為(wèi)半导體(tǐ)制造的理(lǐ)想气體(tǐ)。
2.氦气压缩机用(yòng)于
航空航天领域
。氦气在航天飞行中被用(yòng)作气球、气垫、气动控制、火箭推进剂等。特别是在宇航员太空出行时,氦气是保护宇航员的必备气體(tǐ),可(kě)以防止高辐射和空间寒冷。
3.氦气压缩机也用(yòng)于
物(wù)理(lǐ)研究所
,氦被用(yòng)于粒子加速器和核物(wù)理(lǐ)实验,以用(yòng)于高能(néng)物(wù)理(lǐ)研究。
4.氦气压缩机可(kě)以做為(wèi)
低温制冷机
的重要组成部分(fēn),主要有(yǒu)氦压缩泵、油气分(fēn)离器、吸附器、冷却系统、電(diàn)控系统及仪表系统组成。在现代工业中,低温制冷应用(yòng)于電(diàn)子工业、半导體(tǐ)工业、光學(xué)工业、食品速冻、医學(xué)设备等领域。
优尼捷UNIGY
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