RGA和检漏仪都利用(yòng)质谱原理(lǐ)。与检漏仪相比RGA的优势在于它能(néng)检测氦气以外的气體(tǐ)如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能(néng)更多(duō) “检漏”只是RGA的附加功能(néng)之一。
RGA没有(yǒu)配备独立的真空系统,需要设备的真空系统支持。
RGA既可(kě)以用(yòng)于极高真空系统的残余气體(tǐ)分(fēn)析又(yòu)能(néng)作為(wèi)工艺气體(tǐ)监测仪实现工艺控制。
RGA和检漏仪都利用(yòng)质谱原理(lǐ)。与检漏仪相比RGA的优势在于它能(néng)检测氦气以外的气體(tǐ)如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能(néng)更多(duō) “检漏”只是RGA的附加功能(néng)之一。
RGA没有(yǒu)配备独立的真空系统,需要设备的真空系统支持。
RGA既可(kě)以用(yòng)于极高真空系统的残余气體(tǐ)分(fēn)析又(yòu)能(néng)作為(wèi)工艺气體(tǐ)监测仪实现工艺控制。
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